ಕಾರ್ಟರ್ ಉತ್ಖನನಕ್ಕಾಗಿ ಎಂಜಿನ್ ಒತ್ತಡ ಸಂವೇದಕ 2 ಸಿಪಿ 3-68 1946725

ಎಂಜಿನ್ ಪ್ರೆಶರ್ ಸೆನ್ಸಾರ್ 2 ಸಿಪಿ 3-68 1946725 ಕಾರ್ಟರ್ ಅಗೆಯುವವರ ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯಗೊಳಿಸಿದ ಚಿತ್ರ

ಸಣ್ಣ ವಿವರಣೆ:

ಒಇ:1946725

ಅಳತೆ ಶ್ರೇಣಿ:0-600 ಬಾರ್

ಮಾಪನ ನಿಖರತೆ:1%ಎಫ್ಎಸ್

ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್‌ನ ಪ್ರದೇಶ:ಕಾರ್ಟರ್‌ನಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ

ನಮಗೆ ಇಮೇಲ್ ಕಳುಹಿಸಿ

ಉತ್ಪನ್ನದ ವಿವರ

ಉತ್ಪನ್ನ ಟ್ಯಾಗ್‌ಗಳು

ಉತ್ಪನ್ನ ಪರಿಚಯ

ಒತ್ತಡ ಸಂವೇದಕವನ್ನು ಸಿದ್ಧಪಡಿಸುವ ವಿಧಾನ, ಈ ಕೆಳಗಿನ ಹಂತಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುವ ಮೂಲಕ ನಿರೂಪಿಸಲಾಗಿದೆ:

ಎಸ್ 1, ಹಿಂಭಾಗದ ಮೇಲ್ಮೈ ಮತ್ತು ಮುಂಭಾಗದ ಮೇಲ್ಮೈಯೊಂದಿಗೆ ವೇಫರ್ ಅನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ; ಪೈಜೊರೆಸಿಸ್ಟಿವ್ ಸ್ಟ್ರಿಪ್ ಮತ್ತು ವೇಫರ್‌ನ ಮುಂಭಾಗದ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚು ಡೋಪ್ಡ್ ಸಂಪರ್ಕ ಪ್ರದೇಶವನ್ನು ರೂಪಿಸುವುದು; ವೇಫರ್‌ನ ಹಿಂಭಾಗದ ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ಕೆತ್ತುವ ಮೂಲಕ ಒತ್ತಡದ ಆಳವಾದ ಕುಹರವನ್ನು ರೂಪಿಸುವುದು;

ಎಸ್ 2, ವೇಫರ್‌ನ ಹಿಂಭಾಗದಲ್ಲಿ ಬೆಂಬಲ ಹಾಳೆಯನ್ನು ಬಂಧಿಸುವುದು;

ಎಸ್ 3, ವೇಫರ್‌ನ ಮುಂಭಾಗದ ಬದಿಯಲ್ಲಿ ಸೀಸದ ರಂಧ್ರಗಳು ಮತ್ತು ಲೋಹದ ತಂತಿಗಳನ್ನು ತಯಾರಿಸುವುದು ಮತ್ತು ವೀಟ್‌ಸ್ಟೋನ್ ಸೇತುವೆಯನ್ನು ರೂಪಿಸಲು ಪೈಜೊರೆಸಿಸ್ಟಿವ್ ಸ್ಟ್ರಿಪ್‌ಗಳನ್ನು ಸಂಪರ್ಕಿಸುವುದು;

ಎಸ್ 4, ವೇಫರ್‌ನ ಮುಂಭಾಗದ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ನಿಷ್ಕ್ರಿಯ ಪದರವನ್ನು ಠೇವಣಿ ಮಾಡುವುದು ಮತ್ತು ರೂಪಿಸುವುದು ಮತ್ತು ಲೋಹದ ಪ್ಯಾಡ್ ಪ್ರದೇಶವನ್ನು ರೂಪಿಸಲು ನಿಷ್ಕ್ರಿಯ ಪದರದ ಭಾಗವನ್ನು ತೆರೆಯುವುದು. 2. ಕ್ಲೈಮ್ 1 ರ ಪ್ರಕಾರ ಒತ್ತಡ ಸಂವೇದಕದ ಉತ್ಪಾದನಾ ವಿಧಾನ, ಇದರಲ್ಲಿ ಎಸ್ 1 ನಿರ್ದಿಷ್ಟವಾಗಿ ಈ ಕೆಳಗಿನ ಹಂತಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿದೆ: ಎಸ್ 11: ಹಿಂಭಾಗದ ಮೇಲ್ಮೈ ಮತ್ತು ಮುಂಭಾಗದ ಮೇಲ್ಮೈಯೊಂದಿಗೆ ವೇಫರ್ ಅನ್ನು ಒದಗಿಸುವುದು ಮತ್ತು ವೇಫರ್‌ನಲ್ಲಿ ಒತ್ತಡ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಚಿತ್ರದ ದಪ್ಪವನ್ನು ವ್ಯಾಖ್ಯಾನಿಸುವುದು; ಎಸ್ 12: ಅಯಾನ್ ಇಂಪ್ಲಾಂಟೇಶನ್ ಅನ್ನು ವೇಫರ್‌ನ ಮುಂಭಾಗದ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಪೈಜೊರೆಸಿಸ್ಟಿವ್ ಸ್ಟ್ರಿಪ್‌ಗಳನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಪ್ರಸರಣ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಿಂದ ತಯಾರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಸಂಪರ್ಕ ಪ್ರದೇಶಗಳನ್ನು ಹೆಚ್ಚು ಡೋಪ್ ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ; ಎಸ್ 13: ವೇಫರ್‌ನ ಮುಂಭಾಗದ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ರಕ್ಷಣಾತ್ಮಕ ಪದರವನ್ನು ಠೇವಣಿ ಮಾಡುವುದು ಮತ್ತು ರೂಪಿಸುವುದು; ಎಸ್ 14: ಒತ್ತಡದ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಚಲನಚಿತ್ರವನ್ನು ರೂಪಿಸಲು ವೇಫರ್‌ನ ಹಿಂಭಾಗದಲ್ಲಿ ಒತ್ತಡದ ಆಳವಾದ ಕುಹರವನ್ನು ಎಚ್ಚಣೆ ಮತ್ತು ರೂಪಿಸುವುದು. 3. ಕ್ಲೈಮ್ 1 ರ ಪ್ರಕಾರ ಒತ್ತಡ ಸಂವೇದಕದ ಉತ್ಪಾದನಾ ವಿಧಾನ, ಇದರಲ್ಲಿ ವೇಫರ್ ಸೋಯಿ.

1962 ರಲ್ಲಿ, ಟಫ್ಟೆ ಮತ್ತು ಇತರರು. ಮೊದಲ ಬಾರಿಗೆ ಪ್ರಸರಣಗೊಂಡ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಪೀಜೊರೆಸಿಸ್ಟಿವ್ ಸ್ಟ್ರಿಪ್ಸ್ ಮತ್ತು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಫಿಲ್ಮ್ ರಚನೆಯೊಂದಿಗೆ ಪೈಜೊರೆಸಿಸ್ಟಿವ್ ಪ್ರೆಶರ್ ಸೆನ್ಸಾರ್ ಅನ್ನು ತಯಾರಿಸಿತು ಮತ್ತು ಪೈಜೊರೆಸಿಸ್ಟಿವ್ ಪ್ರೆಶರ್ ಸೆನ್ಸಾರ್ ಬಗ್ಗೆ ಸಂಶೋಧನೆಯನ್ನು ಪ್ರಾರಂಭಿಸಿತು. 1960 ರ ದಶಕದ ಉತ್ತರಾರ್ಧದಲ್ಲಿ ಮತ್ತು 1970 ರ ದಶಕದ ಆರಂಭದಲ್ಲಿ, ಮೂರು ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಗಳ ನೋಟ, ಅವುಗಳೆಂದರೆ, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಅನಿಸೊಟ್ರೊಪಿಕ್ ಎಚ್ಚಣೆ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ, ಅಯಾನ್ ಇಂಪ್ಲಾಂಟೇಶನ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ ಮತ್ತು ಆನೊಡಿಕ್ ಬಾಂಡಿಂಗ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ, ಒತ್ತಡ ಸಂವೇದಕದಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಬದಲಾವಣೆಗಳನ್ನು ತಂದಿತು, ಇದು ಒತ್ತಡ ಸಂವೇದಕದ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸುವಲ್ಲಿ ಪ್ರಮುಖ ಪಾತ್ರ ವಹಿಸಿದೆ. 1980 ರ ದಶಕದಿಂದ, ಅನಿಸೊಟ್ರೊಪಿಕ್ ಎಚ್ಚಣೆ, ಲಿಥೊಗ್ರಫಿ, ಡಿಫ್ಯೂಷನ್ ಡೋಪಿಂಗ್, ಅಯಾನ್ ಇಂಪ್ಲಾಂಟೇಶನ್, ಬಾಂಡಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಲೇಪನ, ಒತ್ತಡ ಸಂವೇದಕದ ಗಾತ್ರವನ್ನು ನಿರಂತರವಾಗಿ ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲಾಗಿದೆ, ಸೂಕ್ಷ್ಮತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಲಾಗಿದೆ, ಮತ್ತು output ಟ್‌ಪುಟ್ ಹೆಚ್ಚಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾಗಿದೆ. ಅದೇ ಸಮಯದಲ್ಲಿ, ಹೊಸ ಮೈಕ್ರೊಚೈನಿಂಗ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದ ಅಭಿವೃದ್ಧಿ ಮತ್ತು ಅನ್ವಯವು ಒತ್ತಡ ಸಂವೇದಕದ ಚಲನಚಿತ್ರ ದಪ್ಪವನ್ನು ನಿಖರವಾಗಿ ನಿಯಂತ್ರಿಸುತ್ತದೆ.