ಪೈಜೋರೆಸಿಟಿವ್ ಸಂವೇದಕದ ರಚನೆ

ಈ ಸಂವೇದಕದಲ್ಲಿ, ರೆಸಿಸ್ಟರ್ ಸ್ಟ್ರಿಪ್ ಅನ್ನು ಏಕಸ್ಫಟಿಕದ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಡಯಾಫ್ರಾಮ್‌ನಲ್ಲಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಪೈಜೋರೆಸಿಟಿವ್ ಚಿಪ್ ಮಾಡಲು ಏಕೀಕರಣ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಮೂಲಕ ಸಂಯೋಜಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಈ ಚಿಪ್‌ನ ಪರಿಧಿಯನ್ನು ಶೆಲ್‌ನಲ್ಲಿ ಸ್ಥಿರವಾಗಿ ಪ್ಯಾಕ್ ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಡ್ ಲೀಡ್‌ಗಳನ್ನು ಹೊರಹಾಕಲಾಗುತ್ತದೆ. ಘನ-ಸ್ಥಿತಿಯ ಒತ್ತಡ ಸಂವೇದಕ ಎಂದೂ ಕರೆಯಲ್ಪಡುವ ಪೈಜೋರೆಸಿಟಿವ್ ಒತ್ತಡ ಸಂವೇದಕವು ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವ ಸ್ಟ್ರೈನ್ ಗೇಜ್‌ಗಿಂತ ಭಿನ್ನವಾಗಿದೆ, ಇದು ಸ್ಥಿತಿಸ್ಥಾಪಕ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಅಂಶಗಳ ಮೂಲಕ ಪರೋಕ್ಷವಾಗಿ ಬಾಹ್ಯ ಬಲವನ್ನು ಅನುಭವಿಸುವ ಅಗತ್ಯವಿದೆ, ಆದರೆ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಡಯಾಫ್ರಾಮ್ ಮೂಲಕ ಅಳತೆ ಮಾಡಿದ ಒತ್ತಡವನ್ನು ನೇರವಾಗಿ ಅನುಭವಿಸುತ್ತದೆ.

ಸಿಲಿಕಾನ್ ಡಯಾಫ್ರಾಮ್ನ ಒಂದು ಬದಿಯು ಹೆಚ್ಚಿನ ಒತ್ತಡದ ಕುಹರವಾಗಿದ್ದು, ಮಾಪನ ಒತ್ತಡದೊಂದಿಗೆ ಸಂವಹನ ನಡೆಸುತ್ತದೆ, ಮತ್ತು ಇನ್ನೊಂದು ಬದಿಯು ವಾತಾವರಣದೊಂದಿಗೆ ಸಂವಹನ ಮಾಡುವ ಕಡಿಮೆ ಒತ್ತಡದ ಕುಹರವಾಗಿದೆ. ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಡಯಾಫ್ರಾಮ್ ಅನ್ನು ಸ್ಥಿರ ಪರಿಧಿಯೊಂದಿಗೆ ವೃತ್ತದಂತೆ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ವ್ಯಾಸದ ದಪ್ಪದ ಅನುಪಾತವು ಸುಮಾರು 20 ~ 60 ಆಗಿದೆ. ನಾಲ್ಕು P ಅಶುದ್ಧತೆಯ ನಿರೋಧಕ ಪಟ್ಟಿಗಳನ್ನು ವೃತ್ತಾಕಾರದ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಡಯಾಫ್ರಾಮ್‌ನಲ್ಲಿ ಸ್ಥಳೀಯವಾಗಿ ಹರಡಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಪೂರ್ಣ ಸೇತುವೆಗೆ ಸಂಪರ್ಕಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಅವುಗಳಲ್ಲಿ ಎರಡು ಸಂಕುಚಿತ ಒತ್ತಡದ ವಲಯದಲ್ಲಿ ಮತ್ತು ಇತರ ಎರಡು ಕರ್ಷಕ ಒತ್ತಡ ವಲಯದಲ್ಲಿವೆ, ಇದು ಡಯಾಫ್ರಾಮ್ನ ಮಧ್ಯಭಾಗಕ್ಕೆ ಸಂಬಂಧಿಸಿದಂತೆ ಸಮ್ಮಿತೀಯವಾಗಿರುತ್ತದೆ.

ಇದರ ಜೊತೆಗೆ, ಚದರ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಡಯಾಫ್ರಾಮ್ ಮತ್ತು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾಲಮ್ ಸಂವೇದಕವೂ ಇವೆ. ಸಿಲಿಕಾನ್ ಸಿಲಿಂಡರಾಕಾರದ ಸಂವೇದಕವು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಸಿಲಿಂಡರ್ನ ಸ್ಫಟಿಕ ಸಮತಲದ ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ದಿಕ್ಕಿನಲ್ಲಿ ಪ್ರಸರಣದಿಂದ ಪ್ರತಿರೋಧಕ ಪಟ್ಟಿಗಳಿಂದ ಮಾಡಲ್ಪಟ್ಟಿದೆ ಮತ್ತು ಎರಡು ಕರ್ಷಕ ಒತ್ತಡ ನಿರೋಧಕ ಪಟ್ಟಿಗಳು ಮತ್ತು ಎರಡು ಸಂಕುಚಿತ ಒತ್ತಡ ನಿರೋಧಕ ಪಟ್ಟಿಗಳು ಪೂರ್ಣ ಸೇತುವೆಯನ್ನು ರೂಪಿಸುತ್ತವೆ.

ಪೈಜೋರೆಸಿಟಿವ್ ಸಂವೇದಕವು ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ವಸ್ತುವಿನ ಪೈಜೋರೆಸಿಟಿವ್ ಪರಿಣಾಮದ ಪ್ರಕಾರ ಅರೆವಾಹಕ ವಸ್ತುವಿನ ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲೆ ಪ್ರಸರಣ ಪ್ರತಿರೋಧದಿಂದ ಮಾಡಿದ ಸಾಧನವಾಗಿದೆ. ಇದರ ತಲಾಧಾರವನ್ನು ನೇರವಾಗಿ ಅಳತೆ ಸಂವೇದಕವಾಗಿ ಬಳಸಬಹುದು, ಮತ್ತು ಪ್ರಸರಣ ಪ್ರತಿರೋಧವನ್ನು ಸೇತುವೆಯ ರೂಪದಲ್ಲಿ ತಲಾಧಾರದಲ್ಲಿ ಸಂಪರ್ಕಿಸಲಾಗಿದೆ.

ಬಾಹ್ಯ ಬಲದಿಂದ ತಲಾಧಾರವು ವಿರೂಪಗೊಂಡಾಗ, ಪ್ರತಿರೋಧ ಮೌಲ್ಯಗಳು ಬದಲಾಗುತ್ತವೆ ಮತ್ತು ಸೇತುವೆಯು ಅನುಗುಣವಾದ ಅಸಮತೋಲಿತ ಉತ್ಪಾದನೆಯನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸುತ್ತದೆ. ಪೈಜೋರೆಸಿಟಿವ್ ಸಂವೇದಕಗಳಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುವ ತಲಾಧಾರಗಳು (ಅಥವಾ ಡಯಾಫ್ರಾಮ್‌ಗಳು) ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಜರ್ಮೇನಿಯಮ್ ವೇಫರ್‌ಗಳಾಗಿವೆ. ಸೂಕ್ಷ್ಮ ವಸ್ತುಗಳಾಗಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ಗಳಿಂದ ಮಾಡಿದ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಪೈಜೋರೆಸಿಟಿವ್ ಸಂವೇದಕಗಳು ಹೆಚ್ಚು ಹೆಚ್ಚು ಗಮನ ಸೆಳೆದಿವೆ, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಒತ್ತಡ ಮತ್ತು ವೇಗವನ್ನು ಅಳೆಯಲು ಘನ-ಸ್ಥಿತಿಯ ಪೈಜೋರೆಸಿಟಿವ್ ಸಂವೇದಕಗಳು ಹೆಚ್ಚು ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲ್ಪಡುತ್ತವೆ.